Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators

M. Faucher
B. Walter
  • Fonction : Auteur
A.S. Rollier
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
G. Couturier
  • Fonction : Auteur
J.P. Aimé
  • Fonction : Auteur
C. Bernard
  • Fonction : Auteur
R. Boisgard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00284391

Soumis le : mardi 3 juin 2008-08:28:01

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00284391 , version 1 (03-06-2008)

Identifiants

Citer

M. Faucher, B. Walter, A.S. Rollier, K. Segueni, Bernard Legrand, et al.. Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators. 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.1529-1532, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300436⟩. ⟨hal-00284391⟩

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