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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

A totally free flexible membrane : a design for low electrostatic actuation MEMS

K. Segueni
  • Fonction : Auteur
A.S. Rollier
  • Fonction : Auteur
L. Le Garrec
  • Fonction : Auteur
R. Robin
  • Fonction : Auteur
S. Touati
  • Fonction : Auteur
A. Kanciurzewski
  • Fonction : Auteur
O. Millet
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00284389 , version 1 (03-06-2008)

Identifiants

Citer

K. Segueni, A.S. Rollier, L. Le Garrec, R. Robin, S. Touati, et al.. A totally free flexible membrane : a design for low electrostatic actuation MEMS. 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.461-464, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300167⟩. ⟨hal-00284389⟩
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