Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
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https://hal.science/hal-00284389
Soumis le : mardi 3 juin 2008-08:27:59
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
K. Segueni, A.S. Rollier, L. Le Garrec, R. Robin, S. Touati, et al.. A totally free flexible membrane : a design for low electrostatic actuation MEMS. 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.461-464, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300167⟩. ⟨hal-00284389⟩
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