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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

(Cl2:Ar) ICP/RIE dry etching of Al(Ga)Sb for AlSb/InAs HEMTs

E. Lefebvre
  • Fonction : Auteur
M. Borg
  • Fonction : Auteur
M. Malmkvist
  • Fonction : Auteur
J. Grahn
  • Fonction : Auteur
L. Desplanque
Yannick Roelens
Gilles Dambrine
A. Cappy
S. Bollaert
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00284023 , version 1 (02-06-2008)

Identifiants

Citer

E. Lefebvre, M. Borg, M. Malmkvist, J. Grahn, L. Desplanque, et al.. (Cl2:Ar) ICP/RIE dry etching of Al(Ga)Sb for AlSb/InAs HEMTs. 19th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM'07, 2007, Japan. pp.125-128, ⟨10.1109/ICIPRM.2007.381139⟩. ⟨hal-00284023⟩
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