A Method to Measure Beam Deflections in different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical µ- scanners - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEJ, Trans.SM Année : 2007

A Method to Measure Beam Deflections in different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical µ- scanners

H. Muro
  • Fonction : Auteur
Nissan Corporation
T. Oki
  • Fonction : Auteur
Nissan Corporation
A. Asaoka
  • Fonction : Auteur
Nissan Corporation
Tarik Bourouina
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
CV
Gilbert Reyne
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
A. Debray
  • Fonction : Auteur
Nissan Corporation
E. Lebrasseur
  • Fonction : Auteur
Nissan Corporation
Hiroyuki Fujita
  • Fonction : Auteur
The University of Tokyo

Domaines

Energie électrique

Sylvie Garcia  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00283361

Soumis le : jeudi 29 mai 2008-17:08:22

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:50:04

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Dates et versions

hal-00283361 , version 1 (29-05-2008)

Identifiants

Citer

H. Muro, T. Oki, A. Asaoka, Tarik Bourouina, Gilbert Reyne, et al.. A Method to Measure Beam Deflections in different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical µ- scanners. IEEJ, Trans.SM, 2007, 127 (1), ⟨10.1541/ieejsmas.127.31⟩. ⟨hal-00283361⟩

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