Communication Orale : "PECVD silicon nitride membranes for gas separation at low and intermediate temperatures" - Archive ouverte HAL
Autre Publication Scientifique Année : 2007

Communication Orale : "PECVD silicon nitride membranes for gas separation at low and intermediate temperatures"

V. Rouessac
A. Julbe
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00275150 , version 1 (22-04-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00275150 , version 1

Citer

W. Kafrouni, V. Rouessac, A. Julbe, J. Durand. Communication Orale : "PECVD silicon nitride membranes for gas separation at low and intermediate temperatures". 2007. ⟨hal-00275150⟩
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