Mesure de viscosité de films de polymère confinés sub-100 nm
Résumé
Ce travail est une première approche de la mesure de viscosité de films de polymères ultraminces (sub-100 nm). Différentes hypothèses usuelles de rhéologie macroscopique sont confrontées aux résultats expérimentaux obtenus dans le cadre de la lithographie par nanoimpression. Une loi originale de dépendance de la viscosité avec l'épaisseur d'un film de polymère confiné est proposée.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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