Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication
Résumé
Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l'industrie des semi-conducteurs et participent au développement de nouvelles techniques de nanofabrication.
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