Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Photoniques Année : 2008

Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication

Résumé

Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l'industrie des semi-conducteurs et participent au développement de nouvelles techniques de nanofabrication.
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Dates et versions

hal-00261655 , version 1 (07-03-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00261655 , version 1

Citer

David Grojo, Philippe Delaporte. Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication. Photoniques, 2008, 33, pp.50-54. ⟨hal-00261655⟩

Collections

CNRS UNIV-AMU LP3
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