Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]
Fichier principal
2007-Fruleux-EDL-Spacer-First_Damascene-Gate_FinFET-hal.pdf (382.74 Ko)
Télécharger le fichier
Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
---|