Substrate temperature dependence of Si nanostructures formation in SiO/SiO2 superlattice - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Substrate temperature dependence of Si nanostructures formation in SiO/SiO2 superlattice

B. Pivac
  • Fonction : Auteur
I. Capan
  • Fonction : Auteur
P. Dubcek
  • Fonction : Auteur
N. Radic
  • Fonction : Auteur
S. Bernstorff
  • Fonction : Auteur
S. Duguay
Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
CV
A. Slaoui
  • Fonction : Auteur
Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes

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https://hal.science/hal-00252113

Soumis le : mardi 12 février 2008-16:24:38

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:49

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00252113 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00252113 , version 1

Citer

B. Pivac, I. Capan, P. Dubcek, N. Radic, S. Bernstorff, et al.. Substrate temperature dependence of Si nanostructures formation in SiO/SiO2 superlattice. European Material Research Society (E-MRS) Spring Conference, Symposium on Semiconductor Nanostructures towards Electronic and Optoelectronic Device Applications, May 2007, Strasbourg, France. ⟨hal-00252113⟩

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