Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution

Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Eric Cattan
Caroline Soyer
T. Haccart
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00250393

Soumis le : mardi 12 février 2008-08:40:15

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250393 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250393 , version 1

Citer

Denis Remiens, Eric Cattan, Caroline Soyer, T. Haccart. Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution. European Materials Research Society Spring Meeting, Symposium P, Advanced Materials for Microelectronics : Ferroelectrics and Low-k Dielectrics, 2002, France. pp.123-127. ⟨hal-00250393⟩

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