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Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution

Eric Cattan
Caroline Soyer
T. Haccart
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250393 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250393 , version 1

Citer

Denis Remiens, Eric Cattan, Caroline Soyer, T. Haccart. Piezoelectric properties of sputtered PZT films: influence of structure, microstructure, film thickness, (Zr,Ti) ratio and Nb substitution. European Materials Research Society Spring Meeting, Symposium P, Advanced Materials for Microelectronics : Ferroelectrics and Low-k Dielectrics, 2002, France. pp.123-127. ⟨hal-00250393⟩
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