Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS) - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters Année : 2002

Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS)

O. Millet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 883145
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00250391

Soumis le : mardi 12 février 2008-08:40:07

Dernière modification le : vendredi 22 novembre 2024-16:46:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250391 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250391 , version 1

Citer

O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS). Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2002, 41, pp.L1339-L1341. ⟨hal-00250391⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE
70 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More