Caractérisation de nanofils de Si par sonde atomique tomographique

R. Lardé; J. Houard; E. Cadel; P. Pareige; D. Hourlier; D. Stievenard

Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Caractérisation de nanofils de Si par sonde atomique tomographique

, , , , , (1)

1

R. Lardé

Fonction : Auteur
PersonId : 174555
IdHAL : rodrigue-larde
IdRef : 099050978

CV

J. Houard

Fonction : Auteur
PersonId : 15867
IdHAL : jonathan-houard
ORCID : 0000-0001-7244-205X
IdRef : 156842998

CV

E. Cadel

Fonction : Auteur
PersonId : 170763
IdHAL : emmanuel-cadel

P. Pareige

Fonction : Auteur
PersonId : 174539
IdHAL : philippe-pareige
ORCID : 0000-0002-5468-0887
IdRef : 140697489

D. Hourlier

Fonction : Auteur
PersonId : 180343
IdHAL : djamila-hourlier
ORCID : 0000-0002-4044-4429
IdRef : 074545507

D. Stievenard

Fonction : Auteur
PersonId : 747967
IdHAL : didier-stievenard

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00243976

Soumis le : jeudi 7 février 2008-10:26:53

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00243976 , version 1 (07-02-2008)

Identifiants

HAL Id : hal-00243976 , version 1

Citer

R. Lardé, J. Houard, E. Cadel, P. Pareige, D. Hourlier, et al.. Caractérisation de nanofils de Si par sonde atomique tomographique. 10èmes Journées de la Matière Condensée, 2006, Toulouse, France. ⟨hal-00243976⟩

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