CRISTAL: Contrôle de la Résistivité des Interconnexions: maîtrise de la micro-Structure du métal - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

CRISTAL: Contrôle de la Résistivité des Interconnexions: maîtrise de la micro-Structure du métal

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00214190 , version 1 (23-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00214190 , version 1

Citer

S. Maitrejean, C. Cayron, M. Verdier, O. Thomas, Marc Legros. CRISTAL: Contrôle de la Résistivité des Interconnexions: maîtrise de la micro-Structure du métal. Journées Nanosciences & Nanotechnologies, Sep 2007, France. ⟨hal-00214190⟩

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