Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy

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Matériaux Génie des procédés

Yannick Champion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00214153

Soumis le : mercredi 23 janvier 2008-15:03:00

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00214153 , version 1 (23-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00214153 , version 1

Citer

M.C. Cheynet, S. Pokrant. Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy. Xème colloque de la Société Française des Microscopies, Jun 2007, Grenoble, France. ⟨hal-00214153⟩

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