Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00214153 , version 1 (23-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00214153 , version 1

Citer

M.C. Cheynet, S. Pokrant. Investigation of low-k materials using EFTEM, Z-contrast imaging and low-loss spectroscopy. Xème colloque de la Société Française des Microscopies, Jun 2007, Grenoble, France. ⟨hal-00214153⟩

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