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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Low-loss spectroscopy for low-k dielectric analysis (oral)

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00214148 , version 1 (23-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00214148 , version 1

Citer

M.C. Cheynet, S. Pokrant. Low-loss spectroscopy for low-k dielectric analysis (oral). Workshop on new trends in electron microscopy: low-loss EELS and "In-Situ", 2007, Germany. ⟨hal-00214148⟩

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UGA CNRS SIMAP
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