GISAXS study of porous dielectrics used in advanced microelectronics connections - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Applied Crystallography Année : 2007

GISAXS study of porous dielectrics used in advanced microelectronics connections

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Yannick Champion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00204743

Soumis le : mardi 15 janvier 2008-14:45:34

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

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Dates et versions

hal-00204743 , version 1 (15-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00204743 , version 1

Citer

V. Jousseaume, J.P. Simon, G. Rolland. GISAXS study of porous dielectrics used in advanced microelectronics connections. Journal of Applied Crystallography, 2007, 40, pp.s363-s366. ⟨hal-00204743⟩

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