Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00204005 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00204005 , version 1

Citer

Tanguy Lévéder, Stéfan Landis, Laurent Davoust, Nicolas Chaix. Resist viscosity measurement for accurate nano-imprint simulation. 32th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE 2006), 2006, Barcelona, Spain. ⟨hal-00204005⟩
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