Resonant microcantilever type chemical sensors: analytical modeling in view of optimization - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators B: Chemical Année : 2003

Resonant microcantilever type chemical sensors: analytical modeling in view of optimization

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00203747

Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-10:28:42

Dernière modification le : jeudi 25 avril 2024-09:34:17

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Dates et versions

hal-00203747 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00203747 , version 1

Citer

Isabelle Dufour, Ludivine Fadel. Resonant microcantilever type chemical sensors: analytical modeling in view of optimization. Sensors and Actuators B: Chemical, 2003, 91, pp.1. ⟨hal-00203747⟩

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