An alternative solution to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical sensors: comparison between using high-order modes and reducing dimensions - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators B: Chemical Année : 2005

An alternative solution to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical sensors: comparison between using high-order modes and reducing dimensions

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00203741

Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-10:28:31

Dernière modification le : jeudi 25 avril 2024-09:34:17

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Dates et versions

hal-00203741 , version 1 (11-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00203741 , version 1

Citer

Frédéric Lochon, Isabelle Dufour, Dominique Rebiere. An alternative solution to improve sensitivity of resonant microcantilever chemical sensors: comparison between using high-order modes and reducing dimensions. Sensors and Actuators B: Chemical, 2005, 108, pp.979-985. ⟨hal-00203741⟩

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