Microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium utilisées en régime dynamique
Résumé
La qualité de l’air est devenue une préoccupation importante de la société car la présence de certaines substances, notamment de composes organiques volatils, dans l’air ambiant est à l’origine de nombreux problèmes de santé. Pour répondre à la nécessité de quantifier la présence de ces composés, différents capteurs chimiques sont depuis quelques années étudiés et mis au point. Les microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium, de la famille des microsystems électromécaniques (MEMS), en font partie et présentent l’avantage de pouvoir être intégrés dans un système autonome portable et de pouvoir être utilisés pour la détection d’une grande variété d’analytes. Dans cet article, le principe de fonctionnement et la mise en oeuvre de ce type capteur sont expliqué. Les exemples de mesures présentées permettent de mettre en évidence les notions de réversibilité, sensibilité, sélectivité et limite de détection qui sont des critères importants dans le choix de capteurs chimiques pour des applications spécifiques.
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)