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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Performances and Reliability of Dielectric Less Capacitive MEMS Switches.

Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Arnaud Pothier
Aurelian Crunteanu
David Mardivirin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919510
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00199609 , version 1 (19-12-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00199609 , version 1

Citer

Pierre Blondy, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, David Mardivirin. Performances and Reliability of Dielectric Less Capacitive MEMS Switches.. ESA Round Table on Micro et N and Technology, Oct 2007, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00199609⟩

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