Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00194742
Soumis le : vendredi 7 décembre 2007-13:09:39
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00194742 , version 1
Citer
G. Raymond, Pascal Morin, E. Lafosse, D. Hess, M. Braccini, et al.. Characterisation of silicon nitride thin films used as stressor liners on CMOS FETS: measurement of Young's modulus and hardness. Journées Annuelles SF2M 2007, Jun 2007, France. ⟨hal-00194742⟩
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