Integrated design of MEMS: aiming at manufacturability - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue International Journal on Interactive Design and Manufacturing Année : 2007

Integrated design of MEMS: aiming at manufacturability

Matthieu Museau
Cédric Masclet
Serge Tichkiewitch
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00187062 , version 1 (13-11-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00187062 , version 1

Citer

Matthieu Museau, Cédric Masclet, Serge Tichkiewitch. Integrated design of MEMS: aiming at manufacturability. International Journal on Interactive Design and Manufacturing, 2007, 1 (3), pp.127-134. ⟨hal-00187062⟩
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