Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1993

Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00184364

Soumis le : mercredi 31 octobre 2007-09:00:36

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00184364 , version 1 (31-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00184364 , version 1

Citer

Dominique Rebiere, Corinne Dejous, Jacques Pistre, Jean-Louis Aucouturier, Roger Planade. Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators. Eurosensors VII, 1993, Hungary. pp.198. ⟨hal-00184364⟩

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