Direct printing photolithography for the realization of acoustic wave sensors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1997

Direct printing photolithography for the realization of acoustic wave sensors

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00184355

Soumis le : mercredi 31 octobre 2007-09:00:33

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00184355 , version 1 (31-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00184355 , version 1

Citer

Irène Esteban, Corinne Dejous, Dominique Rebiere, Jacques Pistre. Direct printing photolithography for the realization of acoustic wave sensors. 11th European Frequency and Time Forum (EFTF'97), 1997, Switzerland. pp.1. ⟨hal-00184355⟩

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