Modélisation de la sensibilité à l effet de masse des capteurs SH-APM - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1998

Modélisation de la sensibilité à l effet de masse des capteurs SH-APM

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00184351

Soumis le : mercredi 31 octobre 2007-09:00:32

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00184351 , version 1 (31-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00184351 , version 1

Citer

Irène Esteban, Corinne Dejous, Dominique Rebiere, Jacques Pistre, Roger Planade. Modélisation de la sensibilité à l effet de masse des capteurs SH-APM. Colloque Interdisciplinaire en Instrumentation (C2I), 1998, France. pp.1. ⟨hal-00184351⟩

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