Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 1994

Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00183764

Soumis le : mardi 30 octobre 2007-11:20:56

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00183764 , version 1 (30-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183764 , version 1

Citer

Dominique Rebiere, Corinne Dejous, Jacques Pistre, Jean-Louis Aucouturier, Roger Planade. Acoustic wave devices to measure gas flow : comparison between surface acoustic wave (SAW) and shear horizontal acoustic plate mode (SH-APM) oscillators. Sensors and Actuators A: Physical , 1994, 42, pp.1. ⟨hal-00183764⟩

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