Study of the mass sensitivity of SH-APM sensors with MapleV - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 1999

Study of the mass sensitivity of SH-APM sensors with MapleV

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00183758

Soumis le : mardi 30 octobre 2007-11:20:50

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00183758 , version 1 (30-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183758 , version 1

Citer

Irène Esteban, Corinne Dejous, Dominique Rebiere, Jacques Pistre, Roger Planade. Study of the mass sensitivity of SH-APM sensors with MapleV. Sensors and Actuators A: Physical , 1999, 76, pp.1. ⟨hal-00183758⟩

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