Light-ion beam analysis for microelectronic applications - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 2005

Light-ion beam analysis for microelectronic applications

Lionel Hirsch
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Pascal Tardy
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Guillaume Wantz
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
CV
Nolwen Huby
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
CV
P. Moretto
  • Fonction : Auteur
L. Serani
  • Fonction : Auteur
F. Natali
  • Fonction : Auteur
B. Damilano
J.Y. Duboz
  • Fonction : Auteur
J.L. Reverchon
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Ims Import  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00183524

Soumis le : mardi 30 octobre 2007-09:06:47

Dernière modification le : lundi 23 septembre 2024-09:22:24

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183524 , version 1 (30-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183524 , version 1

Citer

Lionel Hirsch, Pascal Tardy, Guillaume Wantz, Nolwen Huby, P. Moretto, et al.. Light-ion beam analysis for microelectronic applications. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2005, 240, pp.1. ⟨hal-00183524⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS IMS-BORDEAUX IMS-BORDEAUX-FUSION
57 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More