Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1998

Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing

David Meunier
  • Fonction : Auteur
Romain Desplats
  • Fonction : Auteur
J. Benbrick
  • Fonction : Auteur
G. Perez
  • Fonction : Auteur
Daniel Estève
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 956405
  • IdRef : 030534615
B. Benteo
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183145 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183145 , version 1

Citer

David Meunier, Romain Desplats, J. Benbrick, G. Perez, Claude Pellet, et al.. Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing. 9th European Symposium Quality and Reliability of Electron Devices, 1998, danemark, Denmark. pp.1. ⟨hal-00183145⟩
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