Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 1998
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https://hal.science/hal-00183119
Soumis le : lundi 29 octobre 2007-15:33:23
Dernière modification le : mercredi 2 août 2023-16:40:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00183119 , version 1
Citer
Romain Desplats, David Meunier, J. Benbrick, G. Perez, Claude Pellet, et al.. Electrical characterization and modification of a Micro Electro Mechanical System (MEMS) for extended mechanical reliability and testing. Microelectronics Reliability, 1998, 38, pp.1. ⟨hal-00183119⟩
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