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Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 2005

FTIR spectroscopy for the hermeticity assessment of micro-cavities

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183108 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183108 , version 1

Citer

David Veyrie, D. Lellouchi, Jl Roux, F. Pressecq, Angélique Tetelin, et al.. FTIR spectroscopy for the hermeticity assessment of micro-cavities. Microelectronics Reliability, 2005, 45, pp.1764-1769. ⟨hal-00183108⟩
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