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Communication Dans Un Congrès Année : 2005

A new method to assess the hermeticity of mems micro-packages

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00183069 , version 1 (29-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00183069 , version 1

Citer

David Veyrie, Jl Roux, F. Pressecq, Angélique Tetelin, Claude Pellet. A new method to assess the hermeticity of mems micro-packages. Proc. of the 5th ESA Round table on micro/nano technologies for space, 2005, Netherlands. pp.1. ⟨hal-00183069⟩
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