Love-wave acoustic sensors and silicon microcantilevers : a coupled approach to characterize polymer thin films - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Love-wave acoustic sensors and silicon microcantilevers : a coupled approach to characterize polymer thin films

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00182218

Soumis le : jeudi 25 octobre 2007-10:39:50

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00182218 , version 1 (25-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00182218 , version 1

Citer

Dominique Rebiere, Isabelle Dufour, Céline Zimmermann, Corinne Dejous, Jacques Pistre. Love-wave acoustic sensors and silicon microcantilevers : a coupled approach to characterize polymer thin films. 20th symposium on microelectronics technology and devices SBMicro 2005, 2005, Brazil. pp.1. ⟨hal-00182218⟩

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