A self-aligned vertical HBT for thin SOI SiGeC BiCMOS
Gregory Avenier
(1)
,
Thierry Schwartzmann
,
Pascal Chevalier
,
Benoit Vandelle
,
Laurent Rubaldo
,
Didier Dutartre
,
L. Boissonnet
,
Fabienne Saguin
,
Roland Pantel
,
Sébastien Fregonese
(1)
,
Cristell Maneux
(1)
,
Thomas Zimmer
(1)
,
A. Chantre
Thierry Schwartzmann
- Fonction : Auteur
Pascal Chevalier
- Fonction : Auteur
Benoit Vandelle
- Fonction : Auteur
Laurent Rubaldo
- Fonction : Auteur
Didier Dutartre
- Fonction : Auteur
L. Boissonnet
- Fonction : Auteur
Fabienne Saguin
- Fonction : Auteur
Roland Pantel
- Fonction : Auteur
Sébastien Fregonese
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16107
- IdHAL : sebastien-fregonese
- ORCID : 0000-0002-1829-2633
- IdRef : 097656631
Cristell Maneux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15639
- IdHAL : cristell-maneux
- ORCID : 0000-0001-9125-5372
- IdRef : 135213584
A. Chantre
- Fonction : Auteur