Article Dans Une Revue Physica Status Solidi A (applications and materials science) Année : 2007

Deposition of ZnO inclined c-axis on silicon and diamond by r.f. magnetron sputtering

S. Bensmaine
  • Fonction : Auteur
L. Le Brizoual
  • Fonction : Auteur
O. Elmazria
B. Benyoucef
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00172250 , version 1 (14-09-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00172250 , version 1

Citer

S. Bensmaine, L. Le Brizoual, O. Elmazria, Jean-Jacques Fundenberger, B. Benyoucef. Deposition of ZnO inclined c-axis on silicon and diamond by r.f. magnetron sputtering. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2007, 204, pp.3091-3095. ⟨hal-00172250⟩

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