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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

New screen-printed MEMS fabrication process : feasibility of thermal microactuator

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164615 , version 1 (21-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164615 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet. New screen-printed MEMS fabrication process : feasibility of thermal microactuator. GDR MicroNanoSystèmes, Oct 2006, Lille, France. ⟨hal-00164615⟩
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