Devices based on free standing thick-films made with a new sacrificial layer process - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164612 , version 1 (21-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164612 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, Francis Ménil. Devices based on free standing thick-films made with a new sacrificial layer process. 31 Int. Conf. IMAPS, Sep 2007, Rzeszow-Krasiczyn, Poland. ⟨hal-00164612⟩
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