Communication Dans Un Congrès
Année : 2004
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https://hal.science/hal-00164545
Soumis le : vendredi 20 juillet 2007-16:26:20
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:49
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00164545 , version 1
Citer
Florian Cacho, Georges Cailletaud, Régine Molins. Etude et simulation du procédé de siliciuration du nickel pour les applications CMOS. Colloque national MECAMAT 2004 - Ecole de mécanique des matériaux, 2004, Aussois, France. 4 p. ⟨hal-00164545⟩
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