New screen-printed MEMS : study of a thermal microactuator - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

New screen-printed MEMS : study of a thermal microactuator

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00164491

Soumis le : vendredi 20 juillet 2007-15:21:41

Dernière modification le : lundi 8 juillet 2024-17:45:54

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164491 , version 1 (20-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164491 , version 1

Citer

Patrick Ginet, Claude Lucat, Francis Ménil, Marc Budinger, Hélène Debéda. New screen-printed MEMS : study of a thermal microactuator. Smart System Integration, Mar 2007, Paris, France. ⟨hal-00164491⟩

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