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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Vers de nouveaux microsystèmes utilisant des couches épaisses libérées

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00164395 , version 1 (20-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00164395 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Francis Ménil. Vers de nouveaux microsystèmes utilisant des couches épaisses libérées. 16ème forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, 2006, Besançon, France. ⟨hal-00164395⟩
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