Article Dans Une Revue
International Journal of Microcircuits and Electronic Packaging
Année : 2007
Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00164393
Soumis le : vendredi 20 juillet 2007-11:50:44
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00164393 , version 1
Citer
Claude Lucat, Patrick Ginet, Francis Ménil. New sacrificial layer based screen-printing process for free-standing thick-films applied to MEMS. International Journal of Microcircuits and Electronic Packaging, 2007, 4, pp. 86-92. ⟨hal-00164393⟩
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