Microsysteme : un état des lieux, enjeux et perspectives - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2000

Microsysteme : un état des lieux, enjeux et perspectives

D. Collard
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
L. Buchaillot
Bernard Legrand
CV

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https://hal.science/hal-00158538

Soumis le : vendredi 29 juin 2007-09:48:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158538 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158538 , version 1

Citer

D. Collard, L. Buchaillot, Bernard Legrand. Microsysteme : un état des lieux, enjeux et perspectives. 48èmes Journées Nationales de l'Union des Physiciens, 2000, Lille, France. ⟨hal-00158538⟩

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