3D self-assembling and actuation of electrostatic micro-mirrors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2000

3D self-assembling and actuation of electrostatic micro-mirrors

L. Buchaillot
P. Bigotte
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158536 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158536 , version 1

Citer

E. Quevy, L. Buchaillot, P. Bigotte, D. Collard. 3D self-assembling and actuation of electrostatic micro-mirrors. 2000, pp.412-415. ⟨hal-00158536⟩
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