Impact of plasma pre-treatment before SiNx passivation on AlGaN/GaN HFETs electrical traps - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2005

Impact of plasma pre-treatment before SiNx passivation on AlGaN/GaN HFETs electrical traps

B. Boudart
N. Vellas
  • Fonction : Auteur
Christophe Gaquière
E. Delos
  • Fonction : Auteur
D. Ducatteau
  • Fonction : Auteur
Z. Bougrioua
Marie Germain
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00154914 , version 1 (15-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00154914 , version 1

Citer

Y. Guhel, B. Boudart, N. Vellas, Christophe Gaquière, E. Delos, et al.. Impact of plasma pre-treatment before SiNx passivation on AlGaN/GaN HFETs electrical traps. Solid-State Electronics, 2005, 49, pp.1589-1594. ⟨hal-00154914⟩
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