Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization

D.F.L. Jenkins
  • Fonction : Auteur
W.W. Clegg
  • Fonction : Auteur
X. Liu
G. Tunstall
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
B. Liu
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00152485

Soumis le : jeudi 7 juin 2007-08:44:57

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152485 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152485 , version 1

Citer

D.F.L. Jenkins, W.W. Clegg, X. Liu, G. Tunstall, Eric Cattan, et al.. Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization. 2001, pp.15-25. ⟨hal-00152485⟩

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