Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization

D.F.L. Jenkins
  • Fonction : Auteur
W.W. Clegg
  • Fonction : Auteur
X. Liu
G. Tunstall
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens
B. Liu
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152485 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152485 , version 1

Citer

D.F.L. Jenkins, W.W. Clegg, X. Liu, G. Tunstall, Eric Cattan, et al.. Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization. 2001, pp.15-25. ⟨hal-00152485⟩
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