PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Electroceramics Année : 2001

PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS

D.F.L. Jenkins
  • Fonction : Auteur
W.W. Clegg
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00152484

Soumis le : jeudi 7 juin 2007-08:44:55

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152484 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152484 , version 1

Citer

D.F.L. Jenkins, W.W. Clegg, Eric Cattan, Denis Remiens. PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS. Journal of Electroceramics, 2001, 7, pp.5-11. ⟨hal-00152484⟩

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