PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Electroceramics Année : 2001

PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS

D.F.L. Jenkins
  • Fonction : Auteur
W.W. Clegg
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152484 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152484 , version 1

Citer

D.F.L. Jenkins, W.W. Clegg, Eric Cattan, Denis Remiens. PZT thin film bi-layer devices for phase controlled actuation in MEMS. Journal of Electroceramics, 2001, 7, pp.5-11. ⟨hal-00152484⟩
64 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More