Electrostatic impact-drive microactuator
Y.Y. Mita
,
M. Arai
,
S. Tenseka
,
D. Kobayashi
,
Philippe Basset
,
A. Kaiser
(1)
,
P. Masquelier
,
L. Buchaillot
,
D. Collard
,
H. Fujita
Y.Y. Mita
- Fonction : Auteur
M. Arai
- Fonction : Auteur
S. Tenseka
- Fonction : Auteur
D. Kobayashi
- Fonction : Auteur
Philippe Basset
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18820
- IdHAL : philippe-basset
- ORCID : 0000-0002-9790-8247
- IdRef : 07452285X
A. Kaiser
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20767
- IdHAL : andreas-kaiser
- ORCID : 0000-0003-0377-7408
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P. Masquelier
- Fonction : Auteur
L. Buchaillot
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : lionel-buchaillot
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- IdRef : 060779136
D. Collard
- Fonction : Auteur
H. Fujita
- Fonction : Auteur