Improvement of LiNbO3 surface roughness by using a multi-step process : relation between optical and AFM analysis. - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2002

Improvement of LiNbO3 surface roughness by using a multi-step process : relation between optical and AFM analysis.

El Hadj Dogheche
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
X. Lansiaux
  • Fonction : Auteur
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00149623

Soumis le : lundi 28 mai 2007-09:54:18

Dernière modification le : vendredi 26 avril 2024-03:30:20

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00149623 , version 1 (28-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00149623 , version 1

Citer

El Hadj Dogheche, X. Lansiaux, Denis Remiens. Improvement of LiNbO3 surface roughness by using a multi-step process : relation between optical and AFM analysis.. Integrated Ferroelectrics, 2002, 49, pp.211-219. ⟨hal-00149623⟩

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